出展者みどころ情報
出展者名 | 見どころ |
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アイクリスタル株式会社 | |
インサイト株式会社 | 世界各国の最先端超音波検査と提携し、超音波画像化検査に特化したカスタムメイド・ソリューションを提供。 |
株式会社荏原製作所 | 荏原製作所は平坦化と真空技術のリーディングカンパニーです。本展では、CMP装置を含む荏原のSiC向けソリューションを展示します。 |
応用物理学会 先進パワー半導体分科会 | SiCやGaN等先進パワー半導体に係る結晶・プロセス・デバイス技術等を幅広く扱う当分科会の概要を紹介。 |
株式会社岡本工作機械製作所 | 総合砥粒加工機メーカーとして、多種多様な製品に加え、SiC・GaN加工技術展に出展しウエハ加工の技術をご提供いたします。 |
オグラ宝石精機工業株式会社 | |
神津精機株式会社 | ★ウェハ形状測定機を提供しています。 主な特徴:1mm以上の反りも測定可能/サイト評価/応力解析/厚み測定。 |
株式会社斉藤光学製作所 | |
株式会社サミットスーパーアブレーシブ | SiC・GaNウェーハ加工用ダイヤモンドパウダー、研磨スラリー、CMPスラリー、精密研磨フィルムなど。 |
三桜工業株式会社 | 次世代半導体材料である「GaN・AIN」など、難加工性基板の受託研磨サービスについてご紹介します。 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 | SiCパワー半導体のウェハ、デバイス、回路実装の技術開発と大型共同研究体“TPEC”の取り組みを紹介します。 |
JFEテクノリサーチ株式会社 | |
株式会社ジェイテクトグラインディングツール | 進化した工具性能・加工技術により、ものづくりの革新に活かすヒントを多数展示致します。 |
株式会社ジェイテクトマシンシステム | 最新のセンタレス、平面、専用研削盤のご紹介で、お客様のご要望を実現します。 |
株式会社ジェイテックコーポレーション | SiCウェハの高速・高精度研磨プロセスをはじめとするナノレベルの超精密研磨技術、装置をご紹介致します。 |
秀和工業株式会社 | 化合物半導体を「貼る」「削る」「磨く」「剥がす」、をワンストップで提供できる唯一のメーカーです。 |
シンコー株式会社 | 脆性材、難削材の高精度機械加工サンプルを展示いたします。 セラミックス(SiC 他)、ガラス、複合材、他。 |
Semi Glory Electronics Materials Co., Ltd. / LONGTECH PRECISION MACHINERY CO., LTD. |
①クリーンルームで成形された品質管理された出荷容器 ②SiC用長寿命設計されたラッピングキャリア |
株式会社東京精密 | 東京精密独自の機構で低コスト、高速加工を実現するエッジグラインダー、高剛性研削盤、CMP装置。 |
株式会社東邦鋼機製作所 | |
日本エクシード株式会社 | 弊社では、難加工材料であるSiC・GaNの研削・CMP加工を承っております。お客様の希望する仕様に対し、小ロットから対応いたします。 |
日本エンギス株式会社 | SiC,GaNウエハ加工用ダイヤモンドスラリー、CMPスラリーなどの製品の展示。 多結晶CVDダイヤモンド基板の最新高速研磨技術の紹介。 |
日本セミラボ株式会社 | |
ノリタケ株式会社 | SiC・GaNウェーハ用BG・平面研削ホイール、LHAパッド |
株式会社バイコウスキージャパン | 弊社は最先端の研磨装置、評価機器を用いてカスタムメイドの研磨スラリー開発をおこなっています。 |
浜井産業株式会社 | SiCウェーハの研磨技術を公開します。バーチャルLABOをマル秘公開! 金属部品の両面同時研削盤HLG-13を実機展示。ぜひ足をお運びください! |
パルステック工業株式会社 | |
ピュアオンジャパン株式会社/ アンカーテクノ株式会社 |
SiCやGaNの高速バッチ処理を可能にするパッド製品など、ワイヤーソー・ラップ・ポリッシュ・CMPの工程を最適化する製品を展示します。 |
株式会社フォトニックラティス | ウエハ全面の結晶欠陥を非接触で評価する二次元複屈折装置 急峻温度変化を解析する赤外線ハイスピードカメラ |
不二越機械工業株式会社 | |
株式会社フジミインコーポレーテッド | |
合同会社ブリマテック | |
Mipox株式会社 | |
株式会社牧野フライス製作所 | テーパレス、チッピングレス、ドロスレス レーザ加工機「LB300」で硬脆材加工に新たな可能性を追求 |
ムサシノ電子株式会社/ 株式会社ニューメタルス エンド ケミカルス コーポレーション |
精密な位置決めが行えるダイヤモンドワイヤーソー、SiC・GaN材料の粗研磨からCMPまで1台で対応可能な研磨装置をご紹介いたします。 |
株式会社安永 | |
レーザーテック株式会社 | 業界トップシェアのSiC・GaNウェハ欠陥検査/レビューシステム、および3次元形状解析装置を提供します。 |
株式会社レゾナック |