展品范围

展品范围・参观资格

• SiC,GaN铸锭切片设备
• SiC,GaN晶圆研磨设备
• SiC,GaN砂轮
• 晶圆端面研磨抛光设备
• 磨料
• SiC,GaN单面/双面缠绕设备
• SiC,GaN CMP设备
• SiC,GaN晶圆磨料
• 晶圆清洗系统
• 晶圆形状测量机

参观资格

SiC和GaN单晶生长工程师和研究人员、
SiC和GaN晶圆加工工程师和研究人员、
金刚石晶圆工程师和研究人员、晶圆评估工程师和研究人员、学生等。