展览概述
展品范围
- SiC,GaN铸锭切片设备
- SiC,GaN晶圆研磨设备
- SiC,GaN砂轮
- 晶圆端面研磨抛光设备
- 磨料
- SiC,GaN单面/双面缠绕设备
- SiC,GaN CMP设备
- SiC,GaN晶圆磨料
- 晶圆清洗系统
- 晶圆形状测量机
SiC,GaN 加工技术展 产品对象/范围
| 出展企业（日本境内） | 出展企业（日本境外） 日本境外出展公司位数有限，如有意出展请尽快联系。 |
|---|---|
| EBARA CORPORATION | Semi Glory Electronics Materials Co., Ltd. / LONGTECH PRECISION MACHINERY CO., LTD. |
| TOKYO SEIMITSU | |
| ENGIS JAPAN CORPORATION | |
| National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |