出展者名	見どころ
株式会社荏原製作所	荏原製作所は平坦化と真空技術のリーディングカンパニーです。本展では、CMP装置を含む荏原のSiC向けソリューションを展示します。
国立研究開発法人産業技術総合研究所	SiCパワー半導体のウェハ、デバイス、回路実装の技術開発と大型共同研究体“TPEC”の取り組みを紹介します。
Semi Glory Electronics Materials Co., Ltd. / LONGTECH PRECISION MACHINERY CO., LTD.	①クリーンルームで成形された品質管理された出荷容器 ②SiC用長寿命設計されたラッピングキャリア
株式会社東京精密	東京精密独自の機構で低コスト、高速加工を実現するエッジグラインダー、高剛性研削盤、CMP装置。
日本エンギス株式会社
ノリタケ株式会社	SiC・GaNウェーハ用BG・平面研削ホイール、LHAパッド
レーザーテック株式会社	業界トップシェアのSiC・GaNウェハ欠陥検査/レビューシステム、および3次元形状解析装置を提供します。